AS-7B-L由测量部、避震台、X-Y平台、PC、控制单元、平台控制器以及

表面观察用光学显微镜、彩色显示器、打印机等构成。

1．对应基板尺寸：  Max 400*500mm，t0.5-1.1mm

2．测量模式：      接触AFM、AC-AFM、LFM(FFM)

3．最大扫描范围：  XY=120*120μm，Z=9μm

4．分辨力：        XY=2nm，Z=0.15nm

5．噪声电平：      <0.5nmRMS (在振动条件良好的设置环境下)

6．XY平台：       分辨力1μm/step ; 精度 30μm/500mm

7．光学显微镜：    显示倍率  120－900倍(9”显示器)。

  同轴落射照明：卤素灯光源，光纤导入

8．激光规格：      波长 670nm，输出功率 1mW以下(Class 2 JIS安全基准)

9．避震台：        空气弹簧方式3轴方向避震台，具有自动水平功能

10．隔音盖板：     电控气缸进行测定部全面上部盖板的开闭