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设备编号 设备名称 设备型号 生产厂家 出厂日期
YJ007   SEM(扫描电子显微镜) S-4700 日立Hitec 1998年
  代理销售:表面粗度测定机 SE500 日本小坂研究所
SG002   原子力显微镜/Atomic F.. AS-7B-L TAKANO 1999年
JL008   傅立叶变换红外分光光度计(FT.. Spectrum 100/200 Perkin+Elmer 2006年6月
JL007   电场放射型扫描电子显微镜(FE.. S-4800 日立Hitec 2004年6月
JL006   聚焦离子束加工观察装置(FIB) FB-2100 日立Hitec 2004年6月
JL005   段差测定装置(触针式膜厚测定) FP-20AB 東朋Technologies 2003年10月
JL004   凹凸检查装置 OLS-FP 島津製作所 2001-5-1
JL003   反射率测定装置 Multi+Spec-1500 島津製作所 2000-11-1
JL002   光学式膜厚計 VL-M1800-S 三洋貿易、K-MAC 1994-10-1
JL001   大型液晶基板外观检查显微镜/I.. MHL-520MS Olympus 1994-10-1
YJ018   光阻胶膜厚测定器 TMD17 Spectra+Co-op 1999年
YJ016   段差计 FP-20BH TOHO 2004年
YJ004   分光测量机(Elipsomet.. ELLI4.5 西華産業 1998年
YJ003   图形检查装置 #2 FPI-7000 日本Orbotech 2000年
YJ002   检查台 #3 NHL-530MS Olympus㈱ 1998年
YJ001   检查台 #2 MHL-530MS Olympus㈱ 1998年1
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