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SGIO-T001掩膜版清洗装置/Mask Cleaner |
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| 产品型号：O-T001 |
| 产品单位：1台 |
| 生产厂家：SGI |
| 出厂年份：2000年 |
| 产品用途：液晶显示器制程中，掩膜版(光罩)的自动清洗 |
| 产品说明： |
1．掩膜版尺寸：550(W) * 450(L) * 5(t) mm
2．处理流程：LD → 处理槽 → 纯水(QDR)槽 → 温纯水提升干燥槽 → ULD
3．节拍时间：3min/片
4．设备内部洁净度：Class 10以下。设置环境：Class 1,000
5．处理方式：一次一片，不使用Cassette!
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