配备了带有广域照明与局部照明的大型电动台板,可读取位置坐标,并配有上料/下料机的自动显微镜检查系统
・使用相对于光学显微镜镜筒下射斜光光源・更易于观察立体的画面・适合观察表面异物、台阶形状
产品性能: 被测物尺寸: Max X465mm * Y360mm t1.1mm 观察范围: Max X465mm * Y360mm (落射观察时) Max X449mm * Y344mm (透过观察时) 载物台行程: X675mm*Y370mm 电动坐标重复性: ±10um 最小设定分辨力: 1um