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東朋TechnologiesFP-20AB段差测定装置（触针式膜厚测定） |
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| 产品型号：FP-20AB |
| 产品单位：1台 |
| 生产厂家：東朋Technologies |
| 出厂年份：2003年10月 |
| 产品用途： |
| 产品说明： |
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1:装有触针式台阶测定器（KLA-Tencor)的膜厚测定器
2:可以进行较大基板的膜厚自动测定
1．基板尺寸:最大670mm*670mm
2．测量范围 ：670mm*670mm
3．X－Y台
驱动距离 :670mm*670mm (电机驱动)
定位重复精度 :2um/1 Sigma (含触针下降精度)
4．旋转台
回转角度 :0-360º
分辨能力 :0.1º
定位重复精度 :4um/1 Sigma (离开回转中心100mm处的位置重复精度)
5.垂直方向分辨力/范围 :2.0Å/±13um
:10.0Å/±65um
6.测量重复性
测量范围13um时、具有10Å(1 sigma)的重复性 |
| 上一条：凹凸检查装置 |
| 下一条：FIB聚焦离子束加工观察装置FB-2100 |
| 液晶设备联系人：尹先生 |
触摸材料联系人：殷小姐 |
| 联系电话：0755-89800161-8016 |
联系电话：0755-89800161-8047 |
| 移动电话：138 0220 7511 |
移动电话：131 6872 1408 |
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