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日立HitecS-4800FE-SEM电场放射型扫描电子显微镜
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产品型号
:
S-4800
产品单位
:
1台
生产厂家
:
日立Hitec
出厂年份
:
2004年6月
产品用途
:
产品说明
:
・使用电场放射的电子对需要观察的物体进行照射,通过2次电子和反射电子像得到表面形状。
・如追加2次电子的能量分布分析装置,则可以解析表面成分
1.二次电子分辨力
1.0nm (加速电压15kV,WD=4mm)
2.0nm (加速电压1kV,WD=4mm,标准模式)
1.4nm (照射电压1kV,WD=1.5mm,Retarding模式)
2.倍率
LM模式 ×20~×2
,000 (依WD不同,最低倍率不同)
HM模式 ×100~×800,000 (依WD、HV不同,最低倍率与最高倍率不同)
3.试料尺寸 150mmφ (MAX)
4.载物台
载物台控制 5轴电机驱动
载物台移动范围 X方向 0 ~ 110mm
Y方向 0 ~ 110mm
Z方向(WD) 1.5 ~ 40mm
T(倾斜角) -5 ~ 70°
R(回转角) 360
°
5.电气视野移动范围 ±12um(WD=8mm时)
上一条:
FIB聚焦离子束加工观察装置FB-2100
下一条:
傅立叶变换红外分光光度计(FT-IR)
液晶设备联系人:
尹先生
触摸材料联系人:
殷小姐
联系电话:
0755-89800161-8016
联系电话:
0755-89800161-8047
移动电话:
138 0220 7511
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131 6872 1408
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