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平板显示行业中,现有薄化工艺主要分为两大类:
1、化学蚀刻(主流方式)
--利用化学溶液蚀刻材料表面进行薄化处理,如使用HF与玻璃中的主成分二氧化硅SiO2发生反应并使其溶解的原理,将较厚的面板玻璃薄化至规定的厚度。薄化后面板玻璃表面的光洁度也需符合显示器件的严格要求。
--6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O

2、物理研磨(辅助方式)

--通过机械的研磨作用在玻璃表面上,对液晶面板玻璃进行薄化处理。主要用于改善玻璃表面的光洁度以及缺陷修复。