使用激光做为光源的显微镜 ・由于使用激光和共焦点光学系统,可实现高分辨率 ・使用3D测量方式可测量台阶等 |
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(1) 手动放板,手动取板
(2) 玻璃尺寸: 360mm*465mm*t1.1mm, t0.7mm
(3) 自动台板
(4) 检查速度:
线宽 6点测量: 6min/sheet
凹凸形状 5点测量: 4min/sheet
膜厚 5点测量: 5min/sheet
(5) 激光光源: Ar Laser,波长=488nm,输出功率5mW
(6) 测量精度: X方向 3σ=0.03um以内
Z方向 3σ=0.14+0.04Lum以内
(7) 环境洁净度: Class 100
(8) 设备尺寸: 本体 W1700*D1500*H2000 (mm)
电脑 W 800*D 800*H1200 (mm) |