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  島津製作所OLS-FP凹凸检查装置
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产品型号OLS-FP
产品单位1台
生产厂家島津製作所
出厂年份2001-5-1
产品用途表面观察
产品说明

使用激光做为光源的显微镜
・由于使用激光和共焦点光学系统,可实现高分辨率
・使用3D测量方式可测量台阶等
 

      (1) 手动放板,手动取板
      (2) 玻璃尺寸: 360mm*465mm*t1.1mm, t0.7mm
      (3) 自动台板
      (4) 检查速度: 
              线宽        6点测量:    6min/sheet
              凹凸形状  5点测量:   4min/sheet
              膜厚        5点测量:    5min/sheet
      (5) 激光光源: Ar Laser,波长=488nm,输出功率5mW
      (6) 测量精度:  X方向  3σ=0.03um以内
                           Z方向  3σ=0.14+0.04Lum以内 
      (7) 环境洁净度: Class 100
      (8) 设备尺寸:  本体  W1700*D1500*H2000 (mm)
                           电脑  W 800*D 800*H1200 (mm)
上一条:反射率测定装置
下一条:段差测定装置(触针式膜厚测定)
液晶设备联系人:尹先生 触摸材料联系人:殷小姐
联系电话:0755-89800161-8016 联系电话:0755-89800161-8047
移动电话:138 0220 7511 移动电话:131 6872 1408
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