1:装有触针式台阶测定器（KLA-Tencor)的膜厚测定器 
2:可以进行较大基板的膜厚自动测定 
1．基板尺寸:最大670mm*670mm

2．测量范围 ：670mm*670mm
3．X－Y台
   驱动距离 :670mm*670mm (电机驱动)
   定位重复精度  :2um/1 Sigma (含触针下降精度)
4．旋转台
   回转角度  :0-360º
   分辨能力  :0.1º
   定位重复精度  :4um/1 Sigma (离开回转中心100mm处的位置重复精度)
5.垂直方向分辨力/范围   :2.0Å/±13um 
                        :10.0Å/±65um
6.测量重复性
   测量范围13um时、具有10Å(1 sigma)的重复性