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  日立HitecS-4800电场放射型扫描电子显微镜(FE-SEM)
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产品型号：S-4800
产品单位：1台
生产厂家：日立Hitec
出厂年份：2004年6月
产品用途：表面观察
产品说明：
・使用电场放射的电子对需要观察的物体进行照射，通过2次电子和反射电子像得到表面形状。
・如追加2次电子的能量分布分析装置，则可以解析表面成分
 
1．二次电子分辨力
    1.0nm (加速电压15kV，WD=4mm)
    2.0nm (加速电压1kV，WD=4mm，标准模式)
    1.4nm (照射电压1kV，WD=1.5mm，Retarding模式)
 
2．倍率
    LM模式 ×20～×2,000 (依WD不同，最低倍率不同)
    HM模式 ×100～×800,000 (依WD、HV不同，最低倍率与最高倍率不同)
 
3．试料尺寸    150mmφ (MAX)
 
4．载物台
    载物台控制             5轴电机驱动
    载物台移动范围      X方向           0 ～ 110mm
                                 Y方向           0 ～ 110mm
                                 Z方向(WD)    1.5 ～ 40mm
                                 T(倾斜角)     -5 ～ 70°
                                 R(回转角)     360°
 
5．电气视野移动范围    ±12um(WD=8mm时)

 
上一条：聚焦离子束加工观察装置(FIB)
下一条：傅立叶变换红外分光光度计(FT-IR)
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