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日立HitecFB-2100聚焦离子束加工观察装置(FIB) |
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| 产品型号：FB-2100 |
| 产品单位：1台 |
| 生产厂家：日立Hitec |
| 出厂年份：2004年6月 |
| 产品用途：精细加工、蒸镀及表面观察 |
| 产品说明： |
・使用汇聚的镓离子束进行纳米量级的精细加工
・将銅、铝等元素用低能量加速后使其蒸镀在物体表面
・用汇聚离子束将表面附着的分子进行分解，使其在表面堆积
・将汇聚离子束照射表面时,通过测定飞出的2次电子像进行表面观察 |
1. 综合规格
(1) 分辨力 6nm以下
(2) 最大束电流 30nA以上
(3) 束最大电流密度 25A/cm2以上
(4) 束位置稳定性 30nm/min以下(共心台使用时)
(5) 倍率(显示器上) 700-90,000倍(共心台使用时)
(40kV时，可以设定300,000倍)
2．离子光学系
(1)离子源
离子种类 Ga
寿 命 1000小时
发射极位置调整 手动
(2)透镜 2段静电式透镜
(3)非点补正 8极静电式
(4)X,Y偏向 8极静电式
(5)消隐 静电式
(6)紧缩 电动可动式CPU控制
(7)加速电压 10-40kV(可变)
(8)最小束径 6nm(像分辨力) |
| 上一条：段差测定装置（触针式膜厚测定） |
| 下一条：电场放射型扫描电子显微镜(FE-SEM) |
| 液晶设备联系人：尹先生 |
触摸材料联系人：殷小姐 |
| 联系电话：0755-89800161-8016 |
联系电话：0755-89800161-8047 |
| 移动电话：138 0220 7511 |
移动电话：131 6872 1408 |
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