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ULVACSMD-650CTi/A1溅射机(Sputter)#1 |
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| 产品型号：SMD-650C |
| 产品单位： |
| 生产厂家：ULVAC |
| 出厂年份：1998年 |
| 产品用途：以枚叶方式用溅射法在玻璃基板上形成Al、Ti薄膜。 |
| 产品说明： |
| 基板尺寸： 550*670*t1.1mm 、550*670*t0.7mm |
| 节拍时间： Ti->Al二层成膜时，110秒/片(Ti 1000Å／Al 4000Å) |
| 玻璃蓝间距： 22mm， 20层。 |
| 靶材材质： Al 5N (一体型，不能分割) |
| Ti 4N (一体型，不能分割) |
| 靶材尺寸： Al 810mm*910mm*16mmt |
| Ti 810mm*910mm*6mmt |
| 膜厚： Al 约4000Å |
| Ti 约1000Å |
| 薄膜特性： 电阻率 Al 3.7*10-6Ωcm以下(4000Å时) |
| Ti 8.0*10-5Ωcm以下(1000Å时) |
| 面电阻分布 Al ±10%以内； Ti ±10%以内 |
| 膜厚分布： 基板内 ±5%(基板边缘起10mm区域除外) | |
| 上一条：Ti/A1溅射机(Sputter)#1 |
| 下一条：CVD SiO2 |
| 液晶设备联系人：尹先生 |
触摸材料联系人：殷小姐 |
| 联系电话：0755-89800161-8016 |
联系电话：0755-89800161-8047 |
| 移动电话：138 0220 7511 |
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